| 概要 |
近年、FIB（Focused Ion beam）を用いた薄膜試料作製は、電子材料をはじめとした多くの分野で広く利用されるようになりました。解析領域の二次電子像を観察しながら薄膜加工できるFIB加工法は、加工位置精度が高いことが大きな特徴の一つです。
また、これまで我々は、FIB加工法の更なる位置精度向上を目的として、FIB/(S)TEMシステムを用いた精密加工法を提案し、0.1μm以下の加工位置精度を実現しております。更には、FIBマイクロサンプリング法の開発により、バルク材料から直接TEM試料を作製する技術を実現しました。最近、高分子材料や生体材料分野においても、FIB加工法のこのような特徴に対するニーズが高まっており、その応用が期待されるようになりました。
そこで今回は、FIBマイクロサンプリング法の生体硬組織への応用例を紹介いたします。
キーワード：STEM,FIB,マイクロサンプリング,反射電子像,元素マッピング像,生体硬組織材料 |
