| 概要 |
貴金属触媒は、自動車の排気ガスから環境を守るための大切な材料の一つですが、最近の触媒はナノメータあるいはサブナノメータサイズに微細化しています。また、そのような微粒子触媒は金属酸化物（担体）に付着させて用いますが、その担体上での分散状態により触媒機能が大きく左右されるといわれています。従って触媒の開発研究や品質管理においては、金属微粒子の粒径の測定や分布状態の観察が極めて重要です。
今回はその方法として、最近注目されているFIBマイクロサンプリング法による試料作製と、高性能STEMを用いた観察と分析について紹介します。
キーワード：STEM,FIB,Zコントラスト,マイクロサンプリング,EDX,触媒,貴金属粒子 |
