| 概要 |
集束イオンビーム（FIB）マイクロサンプリング法は、バルク試料の特定箇所から直接、透過電子顕微鏡（TEM）観察部位を摘出できる方法で、半導体をはじめとし、各種材料に広く利用されています。このバルク試料から直接観察部位を摘出できるという特長は、機械的な試料切り出し段階で、界面剥離が起こりやすい材料の前処理にも適しています。
今回は、そのような材料の一例としてAlアノード酸化皮膜を取り上げました。Alアノード酸化皮膜はAl電解コンデンサに用いられておりますが、Al電解コンデンサは、従来用途に加え、IT関連機器、省エネルギー関連機器等にも利用されています。その上材料であるAlアノード酸化皮膜は、アルミニウム基板上にAl酸化皮膜を形成させたもので、コンデンサ容量を増加させるために、その膜厚や構造の改良が進められています。今回取り上げた材料は、機械加工では皮膜部分が剥離しやすく、界面部の均一な薄膜化とTEMでの観察が困難であったものです。試料作製にマイクロサンプリング法を応用し、TEM観察・分析を行った例を以下に紹介します。
キーワード：マイクロサンプリング,Al電解コンデンサ,Alアノード酸化皮膜,SIM像,STEM像,高分解能像,EDX分析,組成分布像 |
