| 概要 |
集束イオンビーム（FIB：Focused Ion Beam）加工技術は、半導体のみならず高分子材料やナノテク材料などさまざまな材料のTEM試料作製に用いられるようになりました。
今回は、自動車の除振装置などに用いられる防振ゴムのマイクロサンプリング法1による試料作製とFIB-STEM共用3D解析ホルダーを用いた三次元観察を試みましたので、以下にその方法と観察例を紹介します。
キーワード：FIB,三次元観察,FIB-STEM共用3D解析ホルダー,マイクロサンプリング法,ピラー状サンプル,マイクロピラー |
