| 概要 |
S-4500形走査電子顕微鏡（以下S-4500形SEM）は、対物レンズ磁界をより試料に近づけたSnorkel形対物レンズの採用により、大形試料に対しても低加速電圧での分解能を大幅に向上させた新しいタイプのSEMです（加速電圧1kVで4nm保証）。また、試料から発生した二次電子を効率よく捕集するために、対物レンズ上部にTTL（Through The Lens）形二次電子検出器（Upper検出器）を配置するとともに、対物レンズの下側にも二次電子検出器（Lower検出器）を標準で装備しています。（図1)。観察目的や観察対象に応じて、この2つの二次電子検出器を使い分けることにより、幅広いアプリケーションに対応できます。今回は、2つの二次電子検出器のもたらす情報の違いを調べ、これら2つの検出器の効果的な使い分けといくつかの応用例を紹介します。
キーワード：Snorkel形対物レンズ,二次電子検出器,反射電子 |
