| 概要 |
走査電子顕微鏡（以下SEM）において、反射電子は試料に入射した電子が試料の構成原子により散乱されて、入射電子の持っているエネルギーをほぼ保ったまま放出されます。したがって、反射電子は試料の凹凸や原子番号効果（組成）に依存した情報を持つと同時に、帯電現象や試料汚染の影響を受けにくいなどの長所も有しており、先端材料から生物試料に至るまで幅広く活用されております。
今回はYAG（Yttrium Aluminum Garnet）単結晶をシンチレータとして用いた反射電子検出器の特長とそれをS-4500電界放出形走査電子顕微鏡（以下S-4500FE-SEM）に装着したときの応用例を紹介します。
キーワード：高感度YAG反射電子検出器,反射電子,組成コントラスト,平均原子番号,S/N比 |
