サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：S-5000/H形FE-SEMによる半導体デバイス評価 (1,832KB)

タイトル S-5000/H形FE-SEMによる半導体デバイス評価 (1,832KB)
詳細リンク sem097
概要 半導体デバイスの微細化、高集積化に伴い、ゲート酸化膜やキャパシタ層間絶縁膜などは一層薄く、形状の複雑化が進んでいます。このような背景から、S-5000/H形超高分解能SEMを活用してこれらのナノメータオーダの構造を捉えることにより、迅速で的確なプロセス評価が期待されます。ここでは、半導体プロセス評価における超高分解能SEMの役割やその活用のポイントを簡単に紹介します。

キーワード：高分解能SEM,半導体デバイス評価,HSG構造,高精度寸法計測,集束イオンビーム
製品中分類 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2010/06/15
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No. sem097