サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：低加速電圧SEM法によるメソポーラスシリカ観察（658KB）

タイトル 低加速電圧SEM法によるメソポーラスシリカ観察（658KB）
詳細リンク sem135
概要 触媒および触媒担体、吸着剤などへの応用が期待されるメソポーラスシリカ紛体および薄膜の観察を試みました。リターディング法による像分解能の向上、スキャン方法の最適化によるチャージｱｯﾌﾟ回避などにより、壁厚3～5nm、直径7～10nm程度の細孔およびその配向性が明瞭に観察されました。

メソポーラスシリカ,高分解能観察,リターディング法,スキャン方法
製品中分類 走査電子顕微鏡（SEM）
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2010/07/14
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No. sem135