| 概要 |
冷陰極電界放出電子銃を搭載したHF-2000形 200kV 分析電子顕微鏡は、既報（テクニカルデータEMシートNo.39,44,48）で紹介しましたように、試料面上で1nmの電子線プローブが容易に得られ、そのプローブ電流は熱電子銃を使用した場合に比べ、約100倍の値です。また仮想光源径が約10nmと非常に小さいため、平行性の良い電子線でTEM像の形成が可能です。
その結果、従来では困難であった1nm以下の極微小領域の元素分析が行えるとともに、高いコントラストのTEM像が得られます。
これらの特徴を備えたHF-2000形 200kV 分析電子顕微鏡を使用し、EDX分析空間分解能に対する試料の厚さの影響を検討しましたので以下に紹介します。
キーワード：電界放出電子顕微鏡,析出物,極微小部分析,EDX |
