| 概要 |
スロースキャンCCD-TVシステム（SSCCD）は、暗室作業を行わずに、高画質透過像を観察、記録できるオンラインシステムですが、その分解能、感度等の基本性能については、SHEET No.56で既に紹介したとおりです。
SSCCDは、画像を記録する機能だけでなく、取り込んだ画像を解析しながら電子顕微鏡の結像条件を補正するオートチューニング機能も合わせ持っています。
ここでは、SSCCDのオートチューニングシステムを用いてH-8100 200kV分析電子顕微鏡の高倍率像における自動非点収差補正と自動焦点合わせを行った例について紹介します。
キーワード：スロースキャンCCD,オンラインシステム,オートチューニング,オートスティグマ,オートフォーカス |
