サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：HF-2000によるマッピングとライン分析の応用（4,257KB）

タイトル HF-2000によるマッピングとライン分析の応用（4,257KB）
詳細リンク tem063
概要 冷陰極電界放出電子顕微鏡（通称Cold-FE）を搭載したHF-2000形200kV 分析電子顕微鏡は、STEM(Scanning Electron Microscopy：走査透過電子顕微鏡法）を行うためのSTEMユニットとEDX分析装置を用い、試料の全体的な組成分布が分かる元素マッピングとライン分析が可能です。今回、それらを用いた二、三の応用例を紹介します。

キーワード：電界放出電子顕微鏡,STEM,EDXマッピング,ライン分析,アニュラー検出器,HAADF
製品中分類 透過電子顕微鏡（TEM/STEM）
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2011/12/02
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No. tem063