| 概要 |
冷陰極電界放出電子銃（ColdーFE）を搭載したHF-2000 200kV FE-TEMは、極微小部の分析を主目的として開発されました。
Cold-FEは通常の熱電子銃に比べ、電子線源が非常に小さく（5～10nm）高輝度（～10(9)A/cm2･sr）で、電子線のエネルギー幅が小さい（～0.3eV）ことがその特徴としてあげられます。これらの特徴は、EELSによる極微小部の状態分析に威力を発揮します。EELSはまた、試料の厚さ測定にも用いられます。
今回は、HF-2000 200kV FE-TEMとGatan社のParallel EELSを用い、試料の厚さ測定法について紹介します。
キーワード：冷陰極電界放出電子銃,EELS,試料厚さ測定 |
