| 概要 |
HF-2000のTEMモードでのEDX分析は位置精度がよく、極微小領域の定量分析に適していますが、二次元的組成の偏りなどの情報を得るには分析点の数を多くする必要が有りました。
今回、組成情報の二次元化の手段としてHAADF（High Angle Annular Dark Field）検出器を用いたSTEM（Scanning Transmission Electron Microscopy）暗視野像とSTEMモードでのEDXを用いた元素マッピングおよびライン分析を行いましたので、以下に二、三の応用例を紹介します。
キーワード：電界放出電子顕微鏡,STEM,HAADF,EDXマッピング,ライン分析,アニュラー検出器 |
