| 概要 |
冷陰極電界放出型透過電子顕微鏡（Cold FE-TEM）HF-2000は電子材料、金属、セラミックスなどの1nm以下の局所領域の分析に広く利用されています。また最近、TEM試料作製用にGaイオンを用いた集束イオンビーム（FIB）加工観察装置FB-2000が開発され、いろいろな材料のTEM試料前処理に利用されるようになりました。今回は、FIB加工した金属薄膜試料中の析出物のHF-2000によるデジタルマッピング像観察例を紹介します。
キーワード：電界放出電子顕微鏡,EDX,デジタルマッピング,STEM,FIB |
