サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：HF-2000によるナノエリア組成像観察（1,494KB）

タイトル HF-2000によるナノエリア組成像観察（1,494KB）
詳細リンク tem080
概要 冷陰極電界放出電子銃（Cold-FE)を搭載したHF-2000は、高密度で、エネルギー幅の小さい1nm以下の電子線プローブを容易に試料面上に形成することができ、金属、半導体、セラミックスなど先端材料の極微小部の組成解析に広く利用されています。今回は、HF-2000の走査透過像観察装置（STEM)およびEDXシステムを用いた半導体試料のナノエリア組成像の観察例を紹介します。

キーワード：電界放出電子顕微鏡,EDX,デジタルマッピング,STEM
製品中分類 透過電子顕微鏡（TEM/STEM）
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2011/12/02
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No. tem080