| 概要 |
HF-2000は、高輝度、高電流密度およびエネルギー幅の小さい電子線プローブを有した冷陰極電界放出型電子銃を搭載した200kV分析電子顕微鏡で、各種試料の極微小領域の定性および定量分析に広く利用されています。従来、組成像の観察にはEDX（エネルギー分散型X線分析装置）が用いられてきました。しかし最近ではX線マッピングでは測定困難な微小領域における軽元素の分布を知りたいという要求が多くなってきています。今回は、組成情報の二次元化の手段としてイメージングEELS法を応用し、微小領域における軽元素組成像観察を行いましたので、以下にその応用例を紹介します。
キーワード：電界放出電子顕微鏡,EELS,組成像観察,セラミックス |
