| 概要 |
試料を透過した電子線をエネルギー分光し、特定のエネルギーの電子線で結像する方法を電子分光結像法（ESI法：Electron Spectroscopic Imaging）といいます。この手法によるエネルギーフィルター像は、厚い試料や生物組織の無染色試料などの観察に有効であり、さらに特定元素のマッピングが行えることが特長です。今回は、EF-1000形エネルギーフィルター像観察システムを用いて、集束イオンビーム加工観察技術により作製した厚い半導体試料のエネルギーフィルター像観察を行いましたので、以下に紹介します。
キーワード：エネルギーフィルタ像,16M-DRAM,集束イオンビーム加工,プラズモンロス電子 |
