サイト名称 日立ハイテク

タイトル イメージングEELS法による状態変化の動的観察(2,088KB)
詳細リンク tem098
概要 材料の状態変化を動的に観察することは、材料合成のメカニズムを解明する上で有用な知見をもたらします。今回我々は、ポストカラム型のイメージフィルタ装置を装着した高輝度冷陰極電界放出型電子銃を搭載した分析電子顕微鏡と直接加熱方式試料加熱ホールダを用い、Siとグラファイトを原料とした、SiC合成過程の状態変化その場観察を行いましたので、その方法と結果について紹介します。

キーワード:電界放出電子顕微鏡,GIF,EELS,沿製造観察,動的観察,加熱ホールダ,状態変化観察
製品中分類 透過電子顕微鏡(TEM/STEM)
研究大分野 ・材料
・エネルギー
・バイオ
・医学・薬学
・食品
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電池
・細胞・組織
・生物
・医学
・食品
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2011/12/02
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No. tem098