サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：HD-2000で観る64M-DRAM（薄膜加工からナノ領域の分析まで）（8,229KB）

タイトル HD-2000で観る64M-DRAM（薄膜加工からナノ領域の分析まで）（8,229KB）
詳細リンク tem099
概要 試料64M-DRAMの薄膜加工から、HD-2000による高分解能観察および元素分析までの一連の応用例を以下に紹介します。

キーワード：高加速二次電子像,Zコントラスト像,フェーズコントラスト像,Siデバイス,高感度EDX分析,測長,画像処理
製品中分類 透過電子顕微鏡（TEM/STEM）
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2011/12/02
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No. tem099