| 概要 |
透過電子顕微鏡の試料室内で材料を加熱しながら、その微細構造変化を連続的に観察する高温その場観察法は、材料改質プロセスの際の材料内部構造変化メカニズムを解明する上で有用な知見を得ることができるため、高機能性材料の分野で、そのニーズが高まっています。日立分析電子顕微鏡は、そのような高温観察が清浄な状態で行えるよう、その試料室の排気に高速ターボモレキュラーポンプを採用しています。今回は、その分析電子顕微鏡用に開発された二軸傾斜バルク試料ホルダーを用いた金属酸化物の析出過程の高温その場観察と高温におけるEELS分析例を紹介します。
キーワード：加熱ホルダー,その場観察,分析電子顕微鏡,EELS,金属,析出物 |
