| 概要 |
カーボンナノチューブは、電子・情報・通信分野では、電子エミッタ、表面弾性波フィルタとして、エネルギー分野では軽量バッテリーや水素吸蔵物質としての応用が期待され、世界中で精力的な研究が進められています。透過電子顕微鏡（TEM)は、そのカーボンナノチューブの研究に欠かせない装置のひとつですが、カーボンナノチューブは、高加速電圧の電子線照射には極めて弱いため、観察中に微細構造が変化することが多く、真の構造の高分解能観察及び「分析には熟練を要しました。
カーボンナノチューブには、多層ナノチューブ（MWNT:Multi walled nano tube）と単層ナノチューブ（SWNT:Single walled nano tube）があり、MWNTは、2～30層ぐらいのグラファイトが円筒を形成しているチューブで、SWNTはグラフェン（graphene、単原子層のグラファイト）が円筒状に継ぎ目なく閉じたチューブです。
MWNTについては、TEM試料室内で加熱することにより、加速電圧200kVでも安定に高分解能観察が行えることを既に報告しました（テクニカルデータNo.107）。
今回は、MWNTおよびSWNTを加速電圧200kVで600℃に加熱し、高分解能観察およびEELS（電子線エネルギー損失分光、EELS：Electron Energy Loss Spectroscopy）分析を行った結果について紹介します。
キーワード：カーボンナノチューブ,冷陰極電界放出形透過電子顕微鏡,ダイレクトヒーティングホルダ,多層ナノチューブ（MWNTs：multi-walled carbon nanotubes）,単層ナノチューブ（SWNT：Single walled nano tube）,グラフェン,EELS（電子線エネルギー損失分光、EELS：Electron Energy Loss Spectroscopy）分析 |
