概要 |
透過電子顕微鏡においては、試料を高角度に連続的に傾斜しながら撮影した画像の投影像を再構成するトモグラフィーを用いて、試料の三次元構造解析が行われています。H-7650透過電子顕微鏡におけるトモグラフィー用に開発された3D再構成システムでは、試料傾斜角度の制限によるミッシングゾーンの影響を軽減するため、ステレオ計測によるトポグラフィーの手法を取り入れたアルゴリズムを導入しています。今回は、この手法をナノテク材料の微粒子に応用し、ミッシングゾーンの影響を抑えたアーティファクトの少ない再構成を行うことができました。
キーワード:透過電子顕微鏡,白金クラスター,カーボンナノ粒子,トモグラフィー, トポグラフィーに基づく再構成法(Topography Based Reconstruction : TBR),セグメンテーション |