Hitachi

サイト名称 日立ハイテクノロジーズ

タイトル HD-2000によるGMRヘッドの解析(超精密薄膜加工から観察および分析まで)(1,188KB)
詳細リンク stem002
概要 HD-2000超薄膜評価装置は、サブナノメータ領域の分析と原子レベルの高分解能観察が行える走査透過電子顕微鏡(STEM)として、半導体材料を始め、あらゆる高機能性材料の評価に用いられています。
今回はその中でも、精密な薄膜加工と高位置精度での分析が必要とされるGMR(Giant Magneto Resistive)への応用例について紹介します。

キーワード:GMR,FIB,フェーズコントラスト像,Zコントラスト像,高感度EDX分析,EDXマッピング,ライン分析
製品中分類 透過電子顕微鏡(TEM/STEM)
研究大分野
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2011/12/02
No. stem002