| 概要 |
電子・半導体産業では、構造の微細化および高密度化が進み、原子レベルの高分解能観察とナノメータオーダーの極微小領域の元素分析や状態分析が迅速に行える分析技術が強く望まれています。HD-2000は、そのようなニーズに応える装置として開発されました。HD-2000は、明視野走査透過（Bright Field Scanning Transmission Electron Microscopy : BF-STEM）像、暗視野走査透過（Dark Field Scanning Transmission Electron Microscopy : DF-STEM）像、二次電子（Secondary electron : SE）像観察機能を備えており、いろいろな電子材料の評価や故障解析に広く応用されております。
最近、HD-2000の解析能力向上の一環として電子線回折像観察システムを開発しました。この電子線回折像観察システムの開発によりHD-2000による結晶構造の解析が可能になりました。
今回は、その電子線回折像観察システムと半導体デバイスおよびセラミックス材料への応用例について紹介します。
キーワード：電子線回折像,明視野走査透過像,BF-STEM像検出器,暗視野走査透過像,DF-STEM像検出器,ナノ・プローブ電子線回折像,分解能指数,Siデバイス,セラミックス |
