Hitachi

サイト名称 日立ハイテクノロジーズ

タイトル 高感度EDXシステムを用いたドーパント元素の組成分布像観察(380KB)
詳細リンク stem008
概要 FB-2100集束イオンビーム(Focused Ion Beam;FIB)加工観察装置を用いて、半導体材料のゲート部近傍の薄膜試料とピラー状サンプル(三次元観察用)を作製しました。また、高輝度、高安定性のSchottky電子銃と高感度X線分析(Energy Dispersive X-ray spectroscope ; EDX)システムを搭載したHD-2300超薄膜評価装置を用いて、ゲート部近傍のドーパント元素の組成分布像を観察1)したので、その応用例を紹介します。

キーワード:EDX,元素マップSTEM,FIB,マイクロサンプリング法,ドーパント
製品中分類 透過電子顕微鏡(TEM/STEM)
研究大分野
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2011/12/02
No. stem008