タイトル | 高感度EDXシステムを用いたドーパント元素の組成分布像観察(380KB) |
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詳細リンク | stem008 |
概要 | FB-2100集束イオンビーム(Focused Ion Beam;FIB)加工観察装置を用いて、半導体材料のゲート部近傍の薄膜試料とピラー状サンプル(三次元観察用)を作製しました。また、高輝度、高安定性のSchottky電子銃と高感度X線分析(Energy Dispersive X-ray spectroscope ; EDX)システムを搭載したHD-2300超薄膜評価装置を用いて、ゲート部近傍のドーパント元素の組成分布像を観察1)したので、その応用例を紹介します。 キーワード:EDX,元素マップSTEM,FIB,マイクロサンプリング法,ドーパント |
製品中分類 | 透過電子顕微鏡(TEM/STEM) |
研究大分野 | |
研究中分野 | ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル ・金属・磁性材料 ・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明 ・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶 ・電気 ・電池 |
情報種別 | テクニカルデータ/データシート |
発行日 | 2011/12/02 |
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No. | stem008 |