Hitachi

サイト名称 日立ハイテクノロジーズ

タイトル HD-2300の120kV STEM像観察機能の応用(1,162KB)
詳細リンク stem009
概要 HD-2300は原子レベルの高分解能STEM像とサブナノ領域の分析が可能な解析装置として半導体デバイスをはじめとするいろいろな先端材料分野で活用されています1),2)。HD-2300を用いて軽元素の高コントラスト観察を目的とし、加速電圧120kV(オプション)での観察が可能になりました。今回はその120kVでのSTEM像観察例を紹介します。

キーワード:STEM,高コントラスト,加速電圧120 kV,トナー,生物切片,Siデバイス
製品中分類 透過電子顕微鏡(TEM/STEM)
研究大分野
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電池
・細胞・組織
・生物
・医学
・食品
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2011/12/02
No. stem009