Title	TEM sample preparation of nitride semiconductor using Xe ion milling
Details	HTD-FIB-E013
Overview	TEM sample preparation of nitride semiconductor using Xe ion milling
Product type	Focused Ion Beam Systems (FIB)
Field 1	Materials science
Field 2	Semiconductors (incl. materials) / Devices / Components / Displays & Lighting
Information type	Technical Note
Issue date	2016/12/03
Inquiry	Inquiry
No.	HTD-FIB-E013

Title

TEM sample preparation of nitride semiconductor using Xe ion milling

Details

HTD-FIB-E013

Overview

TEM sample preparation of nitride semiconductor using Xe ion milling

Product type

Focused Ion Beam Systems (FIB)

Field 1

Materials science

Field 2

Semiconductors (incl. materials) / Devices / Components / Displays & Lighting

Information type

Technical Note

Issue date

2016/12/03

Inquiry

No.

HTD-FIB-E013

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Applications：TEM sample preparation of nitride semiconductor using Xe ion milling