Title	Lamella preparation of 3D NAND flash memory using double tilt system
Details	HTD-FIB-E018
Overview	Lamella preparation of 3D NAND flash memory using double tilt system
Product type	・Focused Ion Beam Systems (FIB) ・Electron Microscopes (SEM/TEM/STEM)
Field 1	Materials science
Field 2	Semiconductors (incl. materials) / Devices / Components / Displays & Lighting
Information type	Technical Note
Issue date	2017/01/22
Inquiry	Inquiry
No.	HTD-FIB-E018

Title

Lamella preparation of 3D NAND flash memory using double tilt system

Details

HTD-FIB-E018

Overview

Lamella preparation of 3D NAND flash memory using double tilt system

Product type

・Focused Ion Beam Systems (FIB)
・Electron Microscopes (SEM/TEM/STEM)

Field 1

Materials science

Field 2

Semiconductors (incl. materials) / Devices / Components / Displays & Lighting

Information type

Technical Note

Issue date

2017/01/22

Inquiry

No.

HTD-FIB-E018

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