| 概要 |
樹脂や金属上に薄膜を蒸着する際、その密着性を高めるため表面処理を行うことがあります。今回はそのような表面処理を行うことで表れる形状の変化について評価しました。図1は表面処理を施していないサンプル（a）と表面処理を施したサンプル（b）のナノ3D光干渉計測システム（CSI）による表面形状計測の結果です。CSI測定結果から、粗さの評価でよく使用される算術平均粗さSa（図2）を比較した際、大きな違いは見られませんでした。そこで、VS1800に搭載されているISOパラメータ比較ツールを用いてみたところ、表面性状を評価するISOパラメータの中でもパラメータStr （図3）の値に違いが表れていることが分かりました。Str パラメータとは、表面の等方性・異方性を表すパラメータであり、凹凸・スジなどの規則性を評価するパラメータです。ここで再度、表面形状を確認してみると、処理を施したサンプル表面では横方向に細かなスジ形状（矢印）があることが確認できます。今回のように、単純な見た目だけでは判断しにくいような違いも表面性状パラメータを知ることにより、形状変化を定量的に捉えることが可能です。 |
