サイト名称 日立ハイテク

タイトル 同視野KFM(表面電位)/EBSD(結晶方位)による大面積・金属腐食相関解析
詳細リンク HTD-AFM-032
概要 金属腐食反応は、一般に金属表面の電位分布の不均一性と密接な関係があります。表面電位は、金属材料中の母材/介在物のような異種金属間だけでなく、同一材料であっても組織や結晶方位によっても異なり、電位差の大きいところから腐食が進みます。AFMの一種であるKFM(ケルビンプローブフォース顕微鏡)を用いて局所領域の電位分布をマッピングすることができ、SEM/EBSD(電子線後方散乱回折)を用いて組織や結晶方位を同定することができます。ここでは座標リンケージによるSÆMic.(SEM/AFM相関顕微鏡法)を用いたKFM/SEM/EBSD同視野観察の事例をご紹介します。
関連リンク(製品)
製品中分類 ・電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)
・走査型プローブ顕微鏡(AFM/SPM)
・TEM/SEM試料前処理装置
研究大分野 材料
研究中分野 金属・磁性材料
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2020/04/01
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No. HTD-AFM-032