サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：イオンミリングによる電子基板の連続多点断面加工

タイトル イオンミリングによる電子基板の連続多点断面加工
詳細リンク HTD-SEM-136
概要 ArBlade5000イオンミリング装置の新機能である「ミリングプロセスクリエーター」は加工条件を複数設定し、連続で加工することができるソフトウェアです。本機能を用いて示す3つの領域において、4条件でArイオンミリング加工した結果の光学顕微鏡像、SEM像を図に示します。セラミックスは試料表面にイオンが打ち込まれるとダメージ層が形成されるため、SEM観察時にグレインコントラストが不明瞭となります。そこで今回、低加速電圧で追加工することでその影響の低減を試みました。
関連リンク（製品）
製品中分類 ・走査電子顕微鏡（SEM）
・TEM/SEM試料前処理装置
研究大分野 材料
研究中分野 セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2020/08/04
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No. HTD-SEM-136