Hitachi

サイト名称 日立ハイテク

タイトル マクロ機能を用いた複数領域の自動異物解析
詳細リンク HTD-SEM-152
概要 近年、半導体や電池材料の製造過程で発生した異物粒子を複数領域で自動計測するニーズが増加しています。そこで、ルーティン作業の負担を軽減するマクロの生成と実行を行うソフトウェア「マクロ機能」を開発しました。疑似異物粒子として、金属粒子を液体に分散後マウントした試料台を33個準備し、マルチ試料ホルダーに搭載しました。各試料台のCテープの中心の5 mm×5 mm角の領域にて、3×4視野を自動撮影後、異物粒子数やサイズ分布を計測しました。連続撮影中のGUIを示しており、赤枠内に示すマクロ機能ウィンドウの実行キーをクリックすると、お客様がエクセルで設定した座標や解析領域、枚数、倍率、加速電圧等の条件に従って自動でSEM像を取得できます。
関連リンク(製品)
製品中分類 走査電子顕微鏡(SEM)
研究大分野 材料
研究中分野 ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2021/03/16
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No. HTD-SEM-152