| 概要 |
近年、半導体や電池材料の製造過程で発生した異物粒子を複数領域で自動計測するニーズが増加しています。そこで、ルーティン作業の負担を軽減するマクロの生成と実行を行うソフトウェア「マクロ機能」を開発しました。疑似異物粒子として、金属粒子を液体に分散後マウントした試料台を33個準備し、マルチ試料ホルダーに搭載しました。各試料台のCテープの中心の5 mm×5 mm角の領域にて、3×4視野を自動撮影後、異物粒子数やサイズ分布を計測しました。連続撮影中のGUIを示しており、赤枠内に示すマクロ機能ウィンドウの実行キーをクリックすると、お客様がエクセルで設定した座標や解析領域、枚数、倍率、加速電圧等の条件に従って自動でSEM像を取得できます。 |
