サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：フィルタ捕集金属異物の3次元解析

タイトル フィルタ捕集金属異物の3次元解析
詳細リンク HTD-SEM-160
概要 5G関連製品やリチウムイオン電池など、近年需要が高まる電子機器の品質管理において、原材料混入異物や製造工程異物の管理が重要度を増しています。異物粒子の解析では、製品や部材の微細化に伴い2次元的な形態解析や元素分析だけでなく、高さの情報を含む3次元的な解析要求が高まっています。ここではSEMとEDX粒子解析システムAztecFeature（Oxford Instruments社製）、ナノ3D光干渉計測システム（CSI）を用いた異物粒子の3次元解析例についてご紹介します。
関連リンク（製品）
製品中分類 ・走査電子顕微鏡（SEM）
・ナノ3D光干渉計測システム（CSI）
研究大分野 環境
研究中分野 大気・粉じん
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2021/04/26
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No. HTD-SEM-160