サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：マクロ機能を用いたセパレータの多点自動撮像

タイトル マクロ機能を用いたセパレータの多点自動撮像
詳細リンク HTD-SEM-172
概要 様々な材料の構造やサイズの微細化に伴い、SEMを使用した品質評価においても多検体の自動解析ニーズが高まっています。そこで今回、人的作業の負担を軽減することを目的に「マクロ機能」を利用し、多検体、複数領域の自動撮影を実行するマクロを作成しました。試料には製造条件の異なるリチウムイオン電池用セパレータフィルム3種類（A、B、C）を用い、2検体ずつ試料台に固定しました。各試料は視野毎に倍率を変更し、3万倍、5万倍、8万倍、10万倍の順で矢印の示す方向に撮影を実施しました。
製品中分類 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）
研究大分野 材料
研究中分野 ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2021/10/13
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No. HTD-SEM-172