サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：シングルチルトホルダーを用いたSTEM像情報の活用によるFIB薄膜試料作製

タイトル シングルチルトホルダーを用いたSTEM像情報の活用によるFIB薄膜試料作製
詳細リンク HTD-FIB-129
概要 シングルチルトホルダーを用いると、FIB加工しながらリアルタイムでSTEMを同時観察することができます。本シートでは、3D NANDの配線部をターゲットとして薄膜作製に応用した例を紹介します。
関連リンク（製品）
製品中分類 集束イオンビーム
研究大分野 材料
研究中分野 半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2023/04/21
お問い合わせ先 お問い合わせはこちら
No. HTD-FIB-129