サイト名称 日立ハイテク

タイトル SiO2粒子の自動連続撮像と粒度分布評価
詳細リンク HTD-SEM-200
概要 光学レンズやガラス基板、半導体ウェハなどの製造における研磨工程では一般的にスラリー状の研磨剤が使用されています。これらの品質は製品の仕上がりに直結するため、研磨剤の粒度分布による品質評価が重要となっています。粒度分布の評価では、SEMにより粒子画像を多数取得し、画像解析ソフトウェアを用いて粒径計測を実施します。
関連リンク(製品)
製品中分類 電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)
研究大分野 材料
研究中分野 ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2023/04/21
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No. HTD-SEM-200