特長
X線異物解析装置製品紹介動画
X線異物解析装置の特長を動画でご紹介しています。ご覧いただくには、右の画像をクリックしてください。
1. 250×200 mmサイズの試料から20 µm級の金属異物を数分で検出
たとえば、250×200 mm（ほぼB5サイズ）の電池電極板中から20 µm程度の微小金属異物を検出するためには、従来のX線透過検査装置では十時間程度の撮像時間を要しました。 日立ハイテクサイエンスでは新たなX線透過法の開発により、撮像時間を大きく短縮する事に成功。検出スピードを従来よりも100倍以上早い3～10分に短縮しました。
2. 画像処理による自動異物検出
高速に撮像した250×200 mmのX線透過像の全面に対して高速に画像処理を行い、異物ポイントを自動検出します。
3. 検出された異物ポイントを自動で元素同定
自動検出された異物ポイントのみを蛍光X線マッピングし元素を自動で同定します。
4. 電極板内の微小金属異物も元素同定可能
試料中から検出した金属異物に対して、自動で蛍光X線法による元素同定を行います。 例えば電極板に存在する可能性のある20 µm程度の微小金属異物の検査では、従来は、サンプル表面に存在するもののみ同定が可能でした。 これは、内部に存在する場合、異物から発生した蛍光X線が素材自体により吸収され、信号強度が微弱になるためです。 本装置では独自の高輝度X線光学系の搭載により、電極板・有機フィルム内部に含まれる20 µm程度の微小金属異物についても元素同定できます。
5. オールインワンで作業効率をアップ
金属異物の検出スピード、元素同定スピードが従来の技術に対して桁違いに早く、かつ、顕微鏡も含めそれらが一つの装置内に組み込まれており、 個々のユニットが連携し全自動で結果が出力されます。これらによりオペレーターは試料のセットだけで測定結果を得ることができ、作業効率が大幅に向上しました。
