サイト名称 日立ハイテク

プローブステーション AFM5000II／RealTune(R)II

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進化した測定パラメータ自動調整機能を標準搭載するとともに、分かりやすさを追求したGUIに一新しました。これによりAFM初心者、また初めて測定する試料でも、再現性の高いデータが取得できます。

  • * RealTuneは株式会社日立ハイテクサイエンスの日本における登録商標です。

価格：お問い合わせください。

取扱会社：株式会社 日立ハイテク

 

特長

1. RealTune®II　新測定パラメータ自動調整機能

  • 独自の測定パラメータ自動調整機能がパワーアップ！
    カンチレバーの振動振幅や動作周波数など、主要なパラメータを予測し調整する新アルゴリズムを開発。 試料表面の形状、走査エリア、使用するカンチレバーやスキャナなどを総合的に評価し、 最適な測定条件を高効率・高精度に調整します。
  • 新たに振幅調整機能を付加した測定パラメータ自動調整機能 （RealTune®II）により、ワンクリック測定が可能となりました。熟練オペレータを必要とした測定が、初心者でも簡単に行えます。
  • パラメータの調整が難しい試料にも対応。

新測定パラメータ自動調整機能

従来方式
繊細なパラメータ調整を必要とする、難しい試料。軟らかな繊維が変形し横筋が発生。

新アルゴリズム
最適なパラメータに自動調整し、複雑な繊維構造も変形させずに測定。

【事例1】繊維状のカーボンナノチューブ構造体（ヤモリテープ）
【事例1】繊維状のカーボンナノチューブ構造体（ヤモリテープ）
【試料提供：日東電工株式会社様】

従来方式
表面が壊れやすい試料のため、横筋が多く、ステップの輪郭も不明瞭。

新アルゴリズム
最適なパラメータに自動調整し、分子レベルのステップ構造を安定して測定。

【事例2】有機薄膜トランジスタ用多結晶膜（ペンタセン多結晶膜）
【事例2】有機薄膜トランジスタ用多結晶膜（ペンタセン多結晶膜）
【試料提供：神戸大学北村研究室】

2. 新GUI（Graphical Use Interface）

イージーメニュー

  • 見やすく分かりやすいアイコンと、厳選された情報表示で、初心者から上級者まで、もう操作に迷いません！
  • 測定と解析の作業領域をタブで切り替え、スッキリした画面に。広く有効に利用できます。

セレクタ、ナビゲーション

測定画面、解析画面

3. 3Dオーバーレイ機能

形状像と物性像を重ね合わせて表示し、さらに3D像として描画することができるので、物性の分布を視覚的に捉えることが可能です。

MOSトランジスタの形状像とSNDM像の3D重ね合わせ

4. 粗さ解析、断面プロファイル機能

粗さ解析や断面プロファイル解析など、多彩な解析機能を備えています。

粗さ解析、断面プロファイル機能

5. コンパクト設計

軽量化され、コンパクトになりました。設置場所を選びません。
220mm(W)×500mm(D)×385mm(H)、約15kg

コンパクト設計

　

仕様

仕様
接続機種AFM5100N、AFM5200S、AFM5300E
X, Y, Z走査電圧XY：±200V／18bit
Z：±200V／26bit
同時測定（データポイント）4画面（最大2048×2048）
2画面（最大4096×4096）
長方形スキャン2：1、4：1、8：1、16：1、32：1、64：1、128：1、256：1、512：1、1024：1
測定パラメータ自動調整機能RealTuneII
カンチレバー振幅、接触力、走査速度、フィードバックゲインの自動調整
ソフトウェアマルチレイヤー表示機能（測定／解析）、測定ナビゲーション機能、3Dオーバーレイ機能、スキャナ可動範囲／測定履歴表示機能、データ解析バッチ処理機能、探針評価機能
本体サイズ220mm(W) × 500mm(D) × 385mm(H)、約15kg
電源AC100V～240V±10％、単相

　

 

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