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サイト名称 日立ハイテク

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真空・液中・ガス・温度・湿度など、様々な環境ニーズに対応する環境制御型AFMです。電子デバイスなど電気物性評価に欠かせない吸着水影響などを排除した高真空中での評価を実現します。また、専用の雰囲気遮断ホルダによりSEM、IM、AFM間を大気に曝露することなく搬送できるので、2次電池等の評価に最適です。

価格 ¥32,000,000~
(プローブステーション含む。)

取扱会社:株式会社 日立ハイテク

特長

1. 環境測定ニーズに応えて(光学系の大気中配置 / 連続した加熱・冷却対応)

従来の大気型AFMでは実現できなかった環境下での測定が行える環境制御型AFMです。表面吸着水の影響を最小限に抑えることができる高真空状態での電気計測や、加熱・冷却状態での試料の物性マッピングなどが行えます。 また新開発の『温度スウィープ機能』は、温度環境変化による試料の熱膨張や収縮に起因するZ軸測定域外れを監視しフィードバック制御することで、カンチレバーを試料面に接触させたままでの連続物性測定を可能にします。
(特許3857581号、特許3926638号)

●大気中 ●液中 ●真空中 ●ガス雰囲気(流量制御)
●温度制御 加熱・冷却(-120~300℃) 高温(室温~800℃) 
●湿度制御(0~80%)
●磁場印加(水平、垂直、面内回転、max 5000 Oe )に対応!
(専用オプション使用)

2. 簡易操作の実現(統合型ホルダフランジ)

工具不要の『統合型ホルダフランジ開閉機能』の採用により、試料の導入交換やスキャナ交換を容易にすると共に、環境制御AFMの宿命である試料交換後光軸調整も不要になりました。 測定モード切り替え時のホルダー交換すら必要ありません。

3. 卓越した高性能の確立

『スイングキャンセル機能』を採用。試料部のゆらぎを徹底的に減少させ、ドリフト量を抑えました。ナノオーダーの構造解析に欠かせない基本性能を磨き上げることで信頼性を高めました。
ドリフト量:0.015 nm/sec以下

4. 表面吸着水の影響軽減による電気物性モードの分解能向上

電気特性などを観察する場合、試料表面や探針に付着している水分などの影響により、分解能が低下することがあります。 真空状態にすることで、表面に付着している水分・コンタミなどを排除し、物性観察モードでの高分解能かつ高感度の観察が可能になります。



仕様

仕様
検出系光てこ方式
検出系の光源SLD スーパールミネッセントダイオード
分解能原子分解能
試料サイズ最大20 mmφ、厚さ10 mm
スキャナ(走査範囲)オープンループ
  • XY:20 µm/Z:1.5 µm
  • XY:100 µm/Z:15 µm
  • XY:150 µm/Z:5 µm
クローズドループ
  • XY:15 µm
光学顕微鏡視野サイズ XY : 1.8 x 1.38 ~ 0.26 x 0.2 mm
基本機能AFM、DFM、PM、FFM
機能拡張性*SIS、STM、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、SSRM、SNDM、PRM、KFM、EFM、MFM
除振機構エア供給式パッシブ除振台
試料移動機構マニュアルステージ XY:±2.5 mm
対応環境大気、真空*、液中*、湿度*(20~80%rh)、加熱冷却*(-120~300℃/RT~800℃)
真空排気系*TMP+RP(9.9×10-5 ㎩以下)、RP(9.9 Pa以下)
*
オプション品

オプション

高温加熱試料台

加熱冷却兼用試料台

冷却デュワー

温度コントローラ