特長
あらゆるユーザーに高分解能・再現性・スループットを提供する、新開発ユーザーインターフェース「EM Wizard」
EMWizadのスタンダードモードでは使用される頻度の高い5つのビーム/検出器条件を用意。
選択画面から条件を選択することで光軸調整などの作業なしにベストな光学条件で画像を取得
スタンダードモード：条件選択画面
試料位置表示をよりわかりやすく表示する「マルチファインダー」搭載
マルチファインダーを使用した試料位置の表示。傾斜/回転に追随してSEM像やホルダ像が移動し、容易な視野探しをサポートします。
サンプルへの制限を極力低減したデザイン
- 大型試料（～200 mmφ、～80 mmH）対応のドローアウト試料室を採用、試料室を開放しても対物絞りの汚染に配慮した構造です
- 加熱・引張りステージなどの特殊アプリケーションにも簡便に対応可能
- コニカル対物レンズにより、大型磁性体試料観察やEBSD測定もよりスムーズに行えます
強力な光学系・検出系
- 低エネルギー観察時の分解能は1.6 nm@1 kV*1
- 高真空/低真空ともに照射電流は最大200 nA以上*2
- 形状・組成・結晶学的情報を抽出する新開発反射電子検出器搭載*3
- *1：
- EXリターディングモード＋TOP検出器オプション搭載時
- *2：
- 低真空モードはオプションです
- *3：
- 反射電子検出器はオプションです（低真空モード構成では標準付属）
