特長

コンタミネーション低減により本来の試料表面が観察可能

電子顕微鏡用の試料作成・保管中に、試料表面にハイドロカーボンが付着し、電子ビーム照射時にコンタミネーションが形成され、高分解能観察や分析の妨げになります。
ZONESEMⅡは、UV光を照射して試料表面に付着したハイドロカーボンを除去、電子顕微鏡での観察時に試料表面に形成されるコンタミネーションを低減することができます。

高スループットでフレキシブルなセットアップが可能

同時に複数サンプルを処理可能
LCDタッチパネルによる操作
簡便なサンプル装着 / 取り出し
レシピ機能（10個）を標準搭載

省スペース卓上形

本体寸法：300 mm(W) × 262 mm(D) × 326 mm(H)

長時間クリーニングが可能

1分～約24時間（1分単位）で設定可能です。

ドライ真空排気系

ダイアフラムポンプを搭載、100段階の真空圧設定が可能です。
UV照射時、チャンバー内を真空にすることにより、表面改質および洗浄の効率が上がります。

仕様

項目	内容
形式	ZON-2010
UVランプ	波長： 185 nm、254 nm他（可視光－青、赤外光）
対応試料サイズ	100 mmφ × 37 mm(H)
処理モード	UVクリーニングモード（レシピ機能搭載）真空保持モード
真空設定	100段階の真空圧で設定可能
処理時間設定	1分～約24時間
真空ポンプ	ドライ真空排気系
オゾンスクラバー	触媒式オゾン除害装置内蔵
本体寸法	300 mm(W) × 262 mm(D) × 326 mm(H)
重量	約18 kg
オプション	試料高さ調整用スペーサ

【注意事項】

試料の汚れの種類によっては効果がない場合があります。
UV照射によるダメージを受ける試料には適しません。
酸化されやすい試料には適しません。
試料が著しく汚染されている場合は効果がありません。
本装置に用いるUVランプはRoHS2適応除外扱い品となります。
本製品内に組み込みのUVランプには、微量の水銀（ランプ重量比で0.05％以下）を含有しています。

設置条件

項目		内容
室温		15～30℃
湿度		～70%RH（結露のないこと）
電源	電源	AC100 V（±10%）50/60 Hz
	消費電力	0.13 kVA
	容量	10 A
	形状	3Pコンセント
アース接地		D種接地
設置スペース		650 mm × 650 mm （装置背面は壁から200 mmのスペースを空けてください）
テーブル耐荷重		100 kg以上

応用例

[試料] カーボンフィルム上の金蒸着粒子
[クリーニング時間] 4分 × 2回

カーボンフィルム上の金蒸着粒子 ZONESEMⅡで処理をせず観察
ZONESEMⅡで処理をせず観察

カーボンフィルム上の金蒸着粒子 ZONESEMⅡで処理後に観察
ZONESEMⅡで処理後に観察

多孔質材のハイドロカーボンの除去

多孔質材料は、孔の中にコンタミネーションの原因となるハイドロカーボンなどを内包しやすく、コンタミネーショによる像障害が発生しやすい試料です。ZONESEMⅡでUVクリーニングすることで、ハイドロカーボンが除去され、コンタミネーションによる像障害が改善されます。

[試料]メソポーラスシリカ
[クリーニング時間] 5 分

メソポーラスシリカ ZONESEMⅡで処理をせず観察
ZONESEMⅡで処理をせず観察

メソポーラスシリカ ZONESEMⅡで処理後に観察
ZONESEMⅡで処理後に観察

[試料]ガラス基板上の酸化インジウムスズ（ITO）薄膜
[クリーニング時間] 5 分

ガラス基板上の酸化インジウムスズ（ITO）薄膜 ZONESEMⅡで処理をせず観察
ZONESEMⅡで処理をせず観察

ガラス基板上の酸化インジウムスズ（ITO）薄膜 ZONESEMⅡで処理後に観察
ZONESEMⅡで処理後に観察

大電流照射時のコンタミネーションを抑制

EDSによる元素マッピング実施時には、通常よりも多くの電流を試料に照射するため、コンタミネーショによる像障害が発生しやすくなります。ZONESEMⅡでUVクリーニングすることで、ハイドロカーボンが除去され、EDS 元素マッピング時のコンタミネーションによる像障害が改善されます。

[試料]カーボン上の金蒸着粒子
電子顕微鏡像

ZONESEMⅡで処理をせず観察

ZONESEMⅡで処理後に観察

EDS 元素マッピング像